當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量儀>>臺(tái)式掃描電鏡>> CEM30004nm分辨率臺(tái)式掃描電鏡
中圖儀器CEM系列4nm分辨率臺(tái)式掃描電鏡用于對(duì)樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測(cè)和分析。憑借CEM3000系列空間分辨率出色和易用性強(qiáng),用戶能夠非常快捷地進(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。
CEM3000系列上還運(yùn)用了快速抽放氣設(shè)計(jì),讓用戶在使用時(shí)不再等待,且全系列可選配低真空系統(tǒng),以便精準(zhǔn)調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度,滿足不同樣品的觀測(cè)需求。
性能特色
1.高易用性快速成像、一鍵成片,無需過多人工調(diào)節(jié)。
2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。
3.超大景深毫米級(jí)別景深,具有高空間分辨率。
4.多探測(cè)器可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
5.抗振性能優(yōu)異。
產(chǎn)品功能
1)臺(tái)式電鏡緊湊的外型,CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡能夠不受場(chǎng)地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時(shí)CEM3000也能根據(jù)用戶需求,輕松移機(jī),一臺(tái)機(jī)器多處開花;
2)高分辨率,能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M(jìn)行觀測(cè)分析,滿足用戶的觀測(cè)需求;
3)快速抽放氣,憑借真空系統(tǒng)設(shè)計(jì),該系列臺(tái)式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時(shí)間;
4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,無需過多人工操作,就可得到高質(zhì)量拍攝圖片;
5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時(shí),具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;
6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術(shù),基于復(fù)合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;
7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,進(jìn)而對(duì)不同類型的樣品進(jìn)行觀測(cè);
8)能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇,滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;
9)搭配有多種探頭,能夠?qū)悠愤M(jìn)行多種手段的分析。
應(yīng)用領(lǐng)域
該電鏡外型緊湊,空間適用性強(qiáng),整機(jī)采用大量的抗干擾設(shè)計(jì),避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應(yīng)用范圍。同時(shí),該系列臺(tái)式電鏡具有非常豐富的自動(dòng)調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M(jìn)行觀測(cè),具有高空間分辨率。
用戶可在CEM3000系列臺(tái)式掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時(shí)接收多種信號(hào),對(duì)樣品進(jìn)行分析。
應(yīng)用范例:
不同于立式電鏡,CEM系列4nm分辨率臺(tái)式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個(gè)電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外,該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學(xué)、生命科學(xué)、納米技術(shù)、能源等多個(gè)領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
產(chǎn)品型號(hào)
CEM3000系列共涵蓋CEM3000A(大樣品倉型)和CEM3000B(抗振型)兩款強(qiáng)化機(jī)型,CEM3000A在不改變整機(jī)外觀尺寸的情況下,拓展了樣品倉尺寸,從而可對(duì)大尺寸樣品或多個(gè)常規(guī)尺寸樣品進(jìn)行分析。同時(shí),用戶也可選擇加裝有減振倉的CEM3000B,確保在縮短抽放氣時(shí)間的同時(shí),消除環(huán)境振動(dòng)對(duì)電鏡的影響,保證了高倍數(shù)成像時(shí)的圖像質(zhì)量。
部分技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | CEM3000A(大樣品倉型) | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接) | |
探測(cè)器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配(四象限高分辨探頭) | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標(biāo)配:自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配:顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測(cè)量、纖維測(cè)量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空:優(yōu)于9×10-3Pa 低真空:5 ~ 100 Pa(選配) |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺(tái) | 自動(dòng)軸 | X,Y,T |
手動(dòng)軸 | R,Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°(手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)) | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
最大樣品尺寸 | 70mm×70mm(水平) 45mm(高度) | |
倉內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) | Windows10 (64bit) | |
圖片尺寸 | 640×480 | |
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 |
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